工作原理

操作屏设定工作温度值，保温时间设置、温度与时间自动保持，手动抽气 真空度值，手动解除真空阀。

产品名称

光刻胶专用脱泡烘箱

控温范围

RT+15~100℃

温度分辨率

±0.1℃

温度波动度

±0.3℃

传感器精度

±0.1℃

真空度控制范围

0.1MPa

设计残余真空度

50Pa

真空压力定义

机械相对压力

真空解除

独立的机械手动阀门解除真空

备注：解除真空可采用进入空气也可选用氮气进入解除

氮气流量控制

1~l0L/min 手动可调

氮气进气控制

腔体左侧面靠前进气，采用KF 镜面不锈钢内部焊接转接宝塔 10mm 配硅胶 管连接过滤器进入腔体内

抽气口控制

面板设计不锈钢球阀，抽气在腔体左侧靠前采用KF 接头内部焊接后转宝塔 连接硅胶管

主温度控制器

高精度微电脑液晶控温仪，采用PID与经验值模糊控制技术，控温精确、 工作温度与运行时间任意设定

真空度形成用时

约 5 分钟

真空度解除用时

约 5 分钟

箱体结构

采用台式结构设计，右面为高温真空腔体，左箱为电器控制系统，腔体内 有三层可活动托盘、真空泵独立、腔体内设有抽气口、氮气进气口。

外壳材料

优质冷轧板喷涂处理

内胆材料

优质SUS304 厚度 3mm 镜面不锈钢板，内部圆滑满焊，表面电解抛光处理喷 涂四氟

门封材料

箱门闭合松紧能调节，内胆边采用嵌入槽式结构，整体成型日本进口 T 型 透明本色硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度，洁净度无脱落

保温材料

耐高温硅酸铝纤维棉

传感器

高温 PT100 型热电偶置于内胆后壁

保护与警报装置

独立超温报警切断加热电源

漏电保护

过流检测

接地等保护

加热方式

外部捆绑式加热 (304 不锈钢型加热管)

搁  板

特氟龙开孔板，孔径 10mm，将样品直接摆放，最大负载 5Kg

真空系统

1、抽气能力4L/S/1 台涡旋干泵 (可以同时抽气两台真空腔体)

2、废气连接管路

3、放气与进气电磁阀件

4、抽气压差阀件

5、杂物过滤装置

6、硅胶负压抽气管

加热功率

1.4KW

真空泵功率

0.75KW (220V 电源)

真空箱电源

AC220V/50HZ 单相三线制

其 他

设备自重 85Kg