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半导体专用高温真空箱

本设备适用于航空、汽车、工矿企业、家电、实验室、科研单位及大专院校等领域对其产品及材料进行高温烘烤、温度干燥、低真空密封试验、无氧处理,高温去应力、高温固化等应用。


半导体专用高温真空箱

  产品参数:

应用领域

本设备适用于航空、汽车、工矿企业、家电、实验室、科研单位及大专院校等领域对其产品及材料进行高温烘烤、温度干燥、低真空密封试验、无氧处理,高温去应力、高温固化等应用。

工作原理

操作屏设定工作真空度与温度值,控制系统发出指令电磁阀与真空泵自动工作,到达设定压力值真空系统停止工作,放气电磁阀自动打开解除真空。当温度未达到设定值时继续给加热器系统指令,加热板温度到达后可选择保温,保温终了,当设定值小于测量值时,控制器给冷却循环系统指令,自动降温开始,到达设定值是保持或者继续降温。

产品名称

真空烘箱

控温范围

RT+15~400℃

可长期使用环境350℃

温度分辨率

±0.1℃

温度波动度

 ±0.3℃

传感器精度

±0.1℃

温度均匀度

±5℃单一隔板表面温度(温度到达稳定60min后加热板表面的温度一致性更佳)

加热层板间温度误差

±2℃%

腔体表面温度

室温+15~20℃左右(铰链与腔体加热边缘温度除外)

氧气含量

在线检测范围1ppm~25%

氧气精度

0~1000ppm±1ppm,1%~25%±0.1%

氧气传感器寿命

3~5年

真空度控制范围

0-99.99KPa

设计极限真空度

10Pa

真空度精度

±10%Pa

真空压力定义

绝对压力

真空解除

运行时间结束自动解除真空

PLC界面点动解除真空

独立的机械手动阀门解除真空

备注:解除真空可采用进入空气也可选用氮气进入解除

过压力控制

顶部增加排气电磁阀,当墙体内部超出极限压力值自动打开过压力电磁阀泄压。

氮气流量控制

一档、500~5000ml/min手动可调

二档、1L~10L/min手动可调

备注:流量调节表安装在设备操作面板方面调节。

氮气压力检测

-100kpa~100kpa可设定,当腔内内部氮气正压力超出预警压力值自动报警切断进气阀门

氮气进气控制

腔体底部进气,进气增加倒流板,防止粉末溅起。

真空计时自动抽气

通过PLC继电器来控制自动抽真空,且实现延时抽真空及定时开关机。抽气管路装有电磁阀。可设置定时开启真空泵,自动抽气,定时停机功能,数据记录储。

真空度检测方式

数字显示真空度值(皮拉尼压力传感器)

主温度控制器

高精度微电脑PLC程序控温仪,具备12个温度模块控制通道,温度独立控制,采用PID与经验值模糊控制技术,控温精确、波动度小,工作温度任意设定,数据记录储存,USB数据导出功能,故障报警查询功能。 

程序设定

PLC界面具备选择固定值的温度与真空度模式与分段保温或者温度斜率控制模式两组。

数据储存

各通道运行温度、真空度、时间自动记录,可查询,可USB拷贝

通讯方式

R485/232通讯协议与通讯接口(可选用以太网口连接通讯,对接上位机系统)

控制系统权限管理

一级权限为操作员可以启动,停止,查看运行数据界面

二级权限为技术员修改温度与真空度运行参数,修改历史记录与运行模式等

三级权限为工程师修改设备原始性能参数 

物料扫码

设备增加红外线扫码枪,可实现条形码与二维码识别,扫入后自动进入控制系统,通过后期的上位机系统查询料单批次。 

温度用时

室温~300℃约60min(温度分布点在真空状态略滞后)

升温速率

1~5℃/min

降温速率

0.5~3℃/min

备注:300℃时降到50℃用时约70min(指加热板表面温度)

温度检测

检测记录仪采用彩色触摸屏界面

每层加热板内部实时检测到4个点温度值,含主控温检测1个点

检测传感器采用PT100型热电偶

记录数据具备USB拷贝功能 

真空度形成用时

小于5~10分钟

真空度解除用时

小于3~5分钟

升温烘干、抽真空计时、过滤冷凝、真空保持、自动解除真空

可进行预加热、抽真空时间设定,保压保温时间设定、低温冷凝收集、工作结束进氮气与冷却阀打开冷却水循环降温或氮气保护降温,同时具备声光提醒可定义

控制过程

打开门——扫描枪扫入物料条形码——设备启动——抽真空——进氮气——抽真空反复——含氧量达标——充氮气加热开始——温度到达抽真空——工作倒计时——降温循环开启——到达温度设定值——取出物料一个循环终了 

箱体结构

采用卧式腔体设计,左侧为高温真空腔体,右侧为电器控制系统、散热风冷循环冷却水路系统,腔体内有十二组加热板组合,十二层不锈钢可活动托盘、真空泵、加热散热冷凝器、冷却管路与颗粒物过滤器安装在侧面电器柜内,腔体内设有抽气口、放气口、氮气进气口、抽气真空阀安装在箱体底部后背,排气阀安装顶部。 

外壳材料

优质A3/厚度1.5mm冷轧钢板加100*100*80mm槽钢焊接而成,表面静电喷塑

内胆材料

优质SUS316L/厚度3.0/5.0mm镜面不锈钢板,表面抛光处理

箱门结构

槽钢与不锈钢板连接制成(无观察窗功能)

手动紧迫锁紧

电磁锁紧 

门封材料

箱门闭合松紧能调节,整体成型日本进口T型硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度(具备冷却水循环密封圈)

保温材料

耐高温陶瓷纤维

隔热层厚度不小于120mm

温度传感器

高温PT100/K型热电偶

真空度传感器

电子真空计

氧气传感器

工业级氧化锆

使用现场需要具备条件

1、电源插头工业级五芯32A,铜芯线径不小于10平方。

2、氮气管道氮气源。

3、氮气减压装置气压不小于0.2MPa

4、冷却水源管道,进水压力0.3~0.4MPa,水温15~20℃,进水水质最好含水垢较少的纯化水,以免后期高温冷却时管路堵塞。

5、氮气吹出废气回收管道(现场具备负压废气回收系统)。

6、冷凝水收集口或管道

7、压缩空气气压不小于0.3MPa

8、腔体降温冷却水冷管道系统

9、真空泵排烟气现场回收负压收集系统。

保护与警报装置

1、独立超温报警切断加热电源

2、漏电保护

3、断阻丝报警

4、真空泵过热过载保护

5、马达过热过载保护

6、过流检测

7、相序保护器

8、氮气过压力报警保护

9、电器箱烟雾检测报警

10、欠温度报警

11、欠真空度报警

12、进气欠压力报警

13、冷却水流量报警

14、接地等保护

15、水位检测

16、水压报警 

三色灯报警定义

绿色灯点亮为运行正常

黄色灯点亮待机状态

红色灯点亮为异常报警 

加热方式

独立隔板加热板加热

搁  板

1、独立316L不锈钢材质加热板,将样品直接摆放,最大负20Kg

2、加热板内安装冷却水管路系统

3、冷却水管路采用并联工艺(增加分水器装置),使每个冷却板得到冷水一致

托  盘

标配12块不锈钢托盘

316L材质厚度1.5mm板

要求托盘表面与加热板接触无缝隙或者缝隙做到最低

设计最大负20Kg

托盘均布划分25个方格,每个方格尺120*120mm

每个托盘采用ABC英文字母激光标记

每个方格采用123数字标记 

降温方式

冷却水降温,设计进水温度不高于20℃,自动循环降温,废水不回收

预留可升级的现场安装冷水机降温机组功能。

升温方式

独立不锈钢板,内部组装不锈钢加热管。

冷凝水扑水器

温度控制范围:室温~-10℃,冷凝水收集容积15升,具备收到排水阀,可实现两台真空泵共用。

真空系统

建议选用高效率双级旋片式泵抽气能力8L/S/1台油型(非腐蚀型)

防喷油装置

3、废气连接管路

4、放气与进气电磁阀件

5、抽气压差阀件

6、单向阀

7、杂物过滤装置

8、KF真空波纹抽气冷却管

充气装置

设备预留干燥气体注入接口开关阀件功能

机器底部安装有4个移动脚轮,具备刹车功能,带水平调节

加热功率

25KW

电  源

AC380V/50HZ三相五线制

其 他

设备自重设备自重1205Kg

主要配件品牌

漏电保护器:施耐德

接触器:施耐德

保险丝:正泰电器

计时器:正泰电器

固态继电器:欧姆龙

主控PLC控制系统:台湾台达

彩色触摸屏:台湾台达

温度监控仪:日本欧姆龙

温度传感器:三星电子

真空压力传感器:绝压型0--100KPa更宜电子

氮气压力:日本松下

加热管:无锡杨市

电磁阀:KF40雅德客(304不锈钢材质)

油型真空泵:D40C莱宝真空泵

氧气检测传感器:爱尔兰进口“NTRON”

残留水吹扫装置:不锈钢定制

不锈钢外腔体冷却管路系统:不锈钢定制

废气冷凝气水分离器:不锈钢定制

集中供水分配器:不锈钢定制

气体分配器:不锈钢定制

控制系统

1、控制系统采用氧含量设定值控制,例如设定10PPm,真空系统自动启动经反复抽气与进氮气后腔体内氧含量值到达设定值后加热启动。

2、增加腔体各冷却管路内残留水吹扫,例如一炉生产降温结束后冷却液体进入到达目标后冷却液停止供液,第二次运行启动时系统自动识别氮气阀门打开将残留液体吹扫干净,避免产生高压蒸汽。

3、腔体外壁增加不锈钢冷却水降温捆绑系统,当一炉结束时该降温系统自动打开冷却液进入降温。(排水口散热时处于高温高压应妥善导流出去)

4、高压蒸汽排出进入冷凝气水分离装置,自动控制液位后回收大系统。

5、增加氧含量监控实时记录功能